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| 표준번호 | TTAK.KO-10.0356 | 구표준번호 | |
|---|---|---|---|
| 제개정일 | 2009-12-22 | 총페이지 | 16 |
| 한글표준명 | 멤스 구조체에서의 Torsion 힘 측정용 패턴 지침: Part I – 기초패턴 | ||
| 영문표준명 | Guide for the torsion force measurement patterns in MEMS structures: Part I – Basic patterns | ||
| 한글내용요약 | 멤스구조체에서 비틀림 힘의 측정에 대한 기본 규격 및 구성품의 세부내용에 대하여 정의하고 있으며, 각각의 기능과 물리적인 사양에 대하여 정의한다. 또한 국제 표준 및 단체 규격 등과 호환 가능하도록 정의하여 상호 연동성을 보장한다. | ||
| 영문내용요약 | This standard specifies the basic standard of the composition parts, functions, and the physical specifications for torsion force measurement patterns in MEMS structures and the details of the parts. Also, this standard secures mutual linkages of international standards and group standards. | ||
| 국제표준 | |||
| 관련파일 |
 TTAK.KO-10.0356.zip
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