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| 표준번호 | TTAK.KO-10.0647 | 구표준번호 | |
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| 제개정일 | 2013-10-10 | 총페이지 | 21 |
| 한글표준명 | 멤스 마이크로폰의 특성 평가 -제2부: 패키지 레벨 민감도 측정 방법 | ||
| 영문표준명 | A Characterization of a MEMS Microphone - Part 2: the Measurement Method of Sensitivity on Package Level | ||
| 한글내용요약 | 멤스 마이크로폰은 외부 음압에 반응하여 일정 간격 변위 변동을 발생시키는 두께가 수 um 정도이고, 넓이가 수 mm2인 얇은 이동 전극을 내장하고 이와 대응되는 고정 전극 위에 수 um의 간격을 유지하여 떠 있는 구조로 구성되어 있다. 외부 음압이 얇은 멤브레인에 가해졌을 때, 이는 음압에 반응하여 정전 용량의 변화량을 발생시키고 전기적 신호로 변환되어 해당 신호를 얻게 된다. 고정 전극에 대한 멤브레인의 변화량이 정전용량의 미세 변화량으로 나타나므로, 전기적 신호로 변환해주는 리드아웃 회로가 센서 다음 단에 배치되어야 한다. 멤스 마이크로폰의 최종 민감도를 평가하기 위해서는 센서 자체의 개회로 민감도 특성 평가가 선행되어야 하며 이 값을 바탕으로 리드아웃 회로의 입력 단이 구성된다. 정전용량형 멤스 마이크로폰 및 리드아웃 회로가 패키징되면 무향 조건에서 민감도 평가가 이뤄진다. 1 Pa의 음압으로 구동되는 스피커의 일정 거리 앞에 동시에 놓여지는 기준 마이크로폰과 시편이 주파수 변화에 따른 입력 음압에 대한 출력 전압 신호로 민감도가 측정된다. 여기서, 시편의 민감도는 이미 알고 있는 기준 마이크로폰의 민감도에 대해 상대적으로 평가되어야 한다. 본 표준은 이러한 민감도 특성 평가에 대한 기본 규격 및 세부 내용에 대하여 정의하며, 각각의 기능과 물리적인 사양을 정의한다. | ||
| 영문내용요약 | MEMS microphones are simply composed of two electrodes with a width of X mm2 and a thickness of X um, which are slightly located apart in the range of one to ten micrometers. When sound pressure is forced onto a membrane which is a moving part between two electrodes, the microphone converts the input signal from physical into electrical, and delivers the output signal to ROIC. In order to measure the sensitivity of MEMS microphone, characteristics of sensitivity of an open circuit of the electrodes should be rated at first, and based on the rating, the input stage of readout circuit is organized. After capacitive MEMS microphone and readout circuit are packaged, the sensitivity measurement is carried out under unechoic conditions. This standard specifies the basics and the details of a sensitivity characterization process in a packaged MEMS microphone. | ||
| 국제표준 | |||
| 관련파일 |
 TTAK.KO-10.0647.pdf
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