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자료 검색결과

표준종류

정보통신단체표준(TTAS)

표준번호

TTAK.KO-10.0486

구 표준번호

제개정일

2011-09-28

총 페이지

한글 표준명

정전용량형 멤스 마이크로폰의 웨이퍼 상에서 전기적 특성 평가 방법

영문 표준명

An electrical characterization method on a wafer in a capacitive MEMS microphone

한글 내용요약

정전용량형 멤스 마이크로폰은 두께가 수 um 정도이고 넓이가 수 mm2 인 얇은
전극을 내장하고 고정 전극 위에 수 um 의 간격을 유지하여 떠있는 구조로 구성되어
있다. 외부 음압이 얇은 멤브레인에 가해졌을 때, 이는 음압에 반응하여 정전용량의
변화량을 발생하게되고 전기적 신호로 변환되어 해당 신호를 얻게 된다. 고정전극에
대한 멤브레인의 변화량이 정전용량의 미세 변화량으로 나타나므로, 전기적 신호로
변환해주는 ROIC(read- out IC, 센서인터페이스회로)가 센서 다음 단에 배치되어야 한다.
또한, ROIC 는 높은 출력 임피던스를 낮은 임피던스로 변환해주는 역할을 한다. 따라서,
우수한 SNR(signal- to- noise ratio, 신호대잡음비)을 얻기 위해서는 센서 자체의 전기적
특성 평가가 정확하게 이루어져 이 값을 바탕으로 ROIC 의 입력 단이 구성되어야 한다.
또한, 동작 특성을 평가하기 위해서는 전기적 특성평가와 더불어 기계적 평가도
이뤄져야만 한다. 멤브레인은 고정 전극 위에 일정간격 떠있는 구조이기 때문에 우선
센서 자체의 진성성분 캐패시턴스 값을 얻기 위해서는 멤브레인의 단차를 측정하여야
한다. 따라서, 멤브레인의 기계적 특성 평가를 한 후 이를 바탕으로 전기적 특성 평가가
이뤄져야한다. 본 제안서는 이러한 특성 평가에 대한 기본 규격 및 세부 내용에 대하여
정의하며, 각각의 기능과 물리적인 사양에 대하여도 정의한다. 또한 국제 표준 및 단체
규격 등과 호환 가능하도록 정의하여 상호 연동성을 보장한다.

영문 내용요약

This standard specifies a basic standard of an electrical characterization process on
a wafer in a capacitive MEMS microphone. As a capacitive MEMS sensor is equipped
with ROIC, which transforms a mechanical signal into an electrical signal. So, ahead of
the connection between the sensor part and ROIC, an electrical characterization for
the sensor part has to be exactly evaluated in order to be linked the ROIC module
without being deteriorated on the output voltage. Thus, this standard secures mutual
linkages of international standards and group standards.